高纯气体管道系统布置不同于普通气体管道，一般要求管线不应大长，不应出现不易吹扫干净的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端设置必要的吹除 口和取样口。在一些非连续运行的用户， 在管道末端连续不断的小气量放空， 以使管道内气体常流动，不会出现“ 死空间”。根据过程气体质量要求，必要时还要布置末端净化装置。一 般在进入洁净厂房的高纯气体管道的控 制阀门 、过滤 器 、减压装置 、压力表 、流量计 、 在线分析仪器等 ， 集中设在气体人口室内，便于统一管理和控制。
气体管路工程供气方式
气体管路工程气瓶区域用管路引进。除了仪器空气(工厂空气)是工厂直接生产外，其余气体都是采用高压气瓶柜供气。安装半自动转换阀控制气瓶更换，主要的控制阀门和减压阀门都安装在室外。气体管路主要材质为不锈钢，安装在天花板下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。
高纯气体管路工程管路处理规范
1、由于高纯气体管道要求的洁净度较高，为了减少安装现场的焊接工作量，确保洁净度，所以管道的施工先在1000级的预制间中预制，施工人员应穿洁净服，使用的工机具应保证洁净，另外施工人员应有较强的洁净意识，施工过程尽量减少对管子的污染。
2、管道的下料管道下料使用的是专用的切管工具，切出的端面绝对和管轴心线垂直，切管时应采取措施避免外界的灰尘、空气对管子内部的污染，下好的料应分组编号以便于组对焊接。